世界上第一臺(tái)機(jī)是英國(guó)的 FERRANTI 公司于 1959 年研制成功，當(dāng)時(shí)的測(cè)量方式是測(cè)頭接觸工件后，靠腳踏板來(lái)記錄當(dāng)前值，然后使用計(jì)算器來(lái)計(jì)算元素間的位置關(guān)系。到 20 世紀(jì) 60 年代末，已有近十個(gè)國(guó)家的三十多家公司在生產(chǎn) CMM，不過(guò)這一時(shí)期的 CMM 尚處于初級(jí)階段。

隨著計(jì)算機(jī)的飛速發(fā)展，測(cè)量機(jī)技術(shù)進(jìn)入了 CNC 控制機(jī)時(shí)代，完成了復(fù)雜機(jī)械零件的測(cè)量和空間自由曲線曲面的測(cè)量，測(cè)量模式增加和完善了自學(xué)習(xí)功能，改善了人機(jī)界面，使用專門測(cè)量語(yǔ)言，提高了測(cè)量程序的開(kāi)發(fā)效率。

從 90 年代開(kāi)始，隨著工業(yè)制造行業(yè)向集成化、柔性化和信息化發(fā)展，產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造和檢測(cè)趨向一體化，這就對(duì)作為檢測(cè)設(shè)備的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)提出了更高的要求，從而提出了第三代測(cè)量機(jī)的概念。

其特點(diǎn)是：

1、具有與外界設(shè)備通訊的功能；

2、具有與 CAD系統(tǒng)直接對(duì)話的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)協(xié)議格式；

3、硬件電路趨于集成化,并以計(jì)算機(jī)擴(kuò)展卡的形式,成為計(jì)算機(jī)的大型外部設(shè)備。